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本安全ガイドラインは，半導体，FPD，PV製造装置，および処理のために可燃性シリコン化合物を使用するその他の装置に関する最低限の安全および健康の基準となることも目的とする。
SEMI T12 — Specification of Tracing Jigs and Implements
and simulating performance in the potential end use environments and manufacturing processes
inspection procedures and acceptance criteria
SEMI E93 — Provisional Specification for CIM Framework Advanced Process Control Component
E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1 メッセージトランスファ（SECS-I） Revision:SEMI E4-0699 (Reapproved 0307) - Superseded 本安全ガイドラインは，半導体，FPD，PV製造装置，および処理のために可燃性シリコン化合物を使用するその他の装置に関する最低限の安全および健康の基準となることも目的とする。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI 1980SECS ISECS IA1.12 SECS I SECS ISECS Ipoint to pointSECS ISEMI E5, SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content 2 (SECS II) SECS Ipoint to pointSECS I R1 1. 1 SECS ISECS IRS 232 C SECS I SECS I SECS IEIA RS 232 CJIS C